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MT-30A系列仪表式配气仪

发布时间:2018年08月16日

详细说明

功能 流量计/控制器
基本型号  MT-30A
满量程流量范围(N2) SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(%F.S) ±1(≤15SLM)
±2(>15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
******耐压 3MPa
介质接触材质 304,316,316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 0.75K

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