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MT-600X多通道配气混合系统装置

发布时间:2018年08月16日

详细说明

应用领域
半导体行业  特种材料冶炼  医学行业  环保行业 食品保鲜行业  微电子工艺设备 精密浓度传感器工艺 化学化工等等…
基本参数
    先进的结构,细节的优化。保证仪器准确,稳定,可靠
功能 多通道气体配比装置
基本型号 MT系列
配比范围 1PPM以上(定制)
精度(%) ±1
控制阀动作形式 长闭式
线性(%F.S) ±0.5
重复精度(%F.S) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
设备输出信号 RS232或RS485
电器接头 DB15pin  DB14pin  DB9pin 接头
工作环境 5-55(℃)
工作压差 0.05-0.5MPA
漏率 1X10-7SCCMHe
zui大耐压 3MPA  10MPA
介质接触材质 304  316  316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封性
接头尺寸 Swagelok 1/8 , 1/4 ,3/8,或φ3,φ6,φ8 φ10 φ12
电源要求 220V, 2

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