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MT-200X系列气体混合装置
发布时间:2018年08月16日
详细说明
总气量范围 0~200SLM(可在此范围内任意定制)
稀释配比范围 1ppm到100
流量单位 SCCM (标准毫升/分) / SLM(标准升/分)
精度误差 ±1%F.S.(可定制更高)
工作压差范围 0.1~0.5MPa
*高耐压 3MPa(可定制更高)
对外单点泄漏率 ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
响应时间 ≤2sec
输出信号 标准RS485.RS232(可选)
介质输入温度 5~45℃
工作环境温度 5~45℃
工作环境湿度 <80RH
供电电源 220VAC±10,50Hz
介质接触材质 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封型
接头尺寸 3mm,6mm, 1/8,1/4,
显示方式 电脑/触摸屏