MT-50A/M系列气体质量流量控制器
发布时间:2018年08月16日
详细说明
功能 流量计/控制器
基本型号 MT-50A/M
满量程流量范围(N2) SLM 0~ 50, 60,70,80,90,100
SLM 0~ 120, 150,170,180,190,200
精度(%F.S) ±1(≤15SLM)
±2(>15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
±2%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤2
流量输出信号 1——5.00V 4——20mA
流量设定信号 1——-5.00V 4——20mA
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
耐压 3MPa
介质接触材质 304,316,316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
尺寸 125×30×145 mm
电源要求 24VDC
重量 1.5K