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公司名称:天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电话:
18610611799
传真:
手机:
18526680128
多级脉冲电源
发布时间:2024年10月18日
详细说明
该射频电源采用3U半机箱设计,整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号,响应速度快,信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。
应用特征
该电源主要应用对象包括:刻蚀、ICP、 PECVD。
公司产品信息
13.56MHz射频电源(通用型)
40KHz中频电源(替换AE PEII)
2MHz射频电源
远程等离子体源(RPS)
13.56MHz射频电源(大功率)
远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)
DM系列双频匹配器
13.56MHz自动匹配器
350-450KHz低频匹配器
移动式射频离子源系统
350KHz-450KHz低频电源
ESC静电卡盘电源
多级脉冲电源
天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电 话:18610611799
传 真:
手 机:18526680128
地 址:中国天津东丽区天津市滨海新区滨海科技园日新道196号 研发楼D2一层
邮 编:
网 址:
http://gmpower2024.qy6.com.cn
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