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公司名称:天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电话:
18610611799
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DM系列双频匹配器
发布时间:2024年10月18日
详细说明
DM系列双频匹配器
产品性能:
该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动,电机通过计算主板控制。
采用高速的匹配算法,可以调节电机的转速,即使是高Q值的系统也能达到准确的匹配效果。
通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。
应用对象:
该双频匹配器主要应用对象包括:刻蚀、PECVD系统
公司产品信息
移动式射频离子源系统
2MHz射频电源
13.56MHz射频电源(大功率)
多级脉冲电源
13.56MHz射频电源(通用型)
远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)
13.56MHz自动匹配器
ESC静电卡盘电源
350KHz-450KHz低频电源
40KHz中频电源(替换AE PEII)
远程等离子体源(RPS)
350-450KHz低频匹配器
DM系列双频匹配器
天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电 话:18610611799
传 真:
手 机:18526680128
地 址:中国天津东丽区天津市滨海新区滨海科技园日新道196号 研发楼D2一层
邮 编:
网 址:
http://gmpower2024.qy6.com.cn
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