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公司名称:天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电话:
18610611799
传真:
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18526680128
13.56MHz自动匹配器
发布时间:2024年10月18日
详细说明
产品性能
匹配器系统采用高速匹配算法,当接近匹配点时,这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度,即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω,调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。
应用对象
该自动匹配器主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
公司产品信息
ESC静电卡盘电源
移动式射频离子源系统
远程等离子体源(RPS)
350-450KHz低频匹配器
远程等离子体源(Remote Plasma Source,RPS)
40KHz中频电源(替换AE PEII)
350KHz-450KHz低频电源
多级脉冲电源
13.56MHz自动匹配器
13.56MHz射频电源(大功率)
13.56MHz射频电源(通用型)
2MHz射频电源
DM系列双频匹配器
天津吉兆源科技有限公司
联系人:王丽 女士 (销售经理)
电 话:18610611799
传 真:
手 机:18526680128
地 址:中国天津东丽区天津市滨海新区滨海科技园日新道196号 研发楼D2一层
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网 址:
http://gmpower2024.qy6.com.cn
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