公司名称：深圳市昊光机电科技应用有限公司

1、频率：13.560兆赫+/ - 0.005％ 
2、*大输出功率： 600瓦到50欧姆负载 
3、*小输出功率：6 W到50欧姆负载 
 4、反射功率极限 ： 200瓦 
5、输出功率为匹配： 33％，取决于负载阻抗 
6、负载阻抗：50欧姆 
7、射频连接器 ： 50欧姆，N型，母型接头 
8、射频功率调节模式：P下着，P交付，或直流电压selfbias 
9、调节精度：（设定点）全额定功率为1.0或0.1％，到50欧姆负载 
10、谐波 ： -50 dBc在全额定功率