公司名称：青岛奥博设备有限公司

扩散炉
扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，可作元器件的烧结、退火、等工艺，具有应用范围广、安全可靠、控制精度高等特点。
2.设备名称       双管扩撒炉
3.型号           L4611II-Z/RZQ
4.规格           石英玻璃（单）管有效直径Φ150×2400mm，
                 管壁厚度5-6 mm。
5.主要配制：
5.1主机部分
5.2温度控制部分（PID）
5.3气路部分
5.4氧化室
5.5功率部分
5.6移动工作台
6.主要技术指标
6.1*高温度                         1280℃
6.2使用温度                         300℃～1200℃  
6.3恒温区长度                       大于等于600mm
6.4单点控温精度                     ±0.5℃/24h
6.5升温功率                         20kw
6.6保温功率                         10kw
6.7氮气流量   大                                 0～20L/min（可调）
　            小（通过洗气瓶，容量500～1000ml）  0～1L/min