公司名称：科威聯股份有限公司
供应校准器 发布时间：01月18日
详细说明
被搬运物 SEMI标淮150-300mm wafer
定位時间 7秒
定位精度 对中心:±0.1mm以内，定位平台的定位:±0.1°以内
传感器 可视半导体激光传感器
尺寸切換 通过指令控制进行切换或通信
清洁度 CLASS 1
駆动方式 使用2相步进电机2轴氣缸1轴
电源/真空 DC24V±10% 2A/-53kPa以上
定位時间 7秒
定位精度 对中心:±0.1mm以内，定位平台的定位:±0.1°以内
传感器 可视半导体激光传感器
尺寸切換 通过指令控制进行切换或通信
清洁度 CLASS 1
駆动方式 使用2相步进电机2轴氣缸1轴
电源/真空 DC24V±10% 2A/-53kPa以上
科威聯股份有限公司
联系人：謝淑惠 女士 (管理部課長)
电 话：886-3-5512887
传 真：
手 机：
地 址：中国台湾新竹市竹北市聯興三街136巷75號
邮 编：
网 址：http://kuwailian.qy6.com.cn(
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