公司名称：科威聯股份有限公司
供应wafer robot 发布时间：01月18日
详细说明
被搬運物 300mm wafer
可搬送重量 2kg以下
臂 旋转 上下
動作範圍 314mm 355° 310mm
平均速度 800mm/sec 200°/sec 350mm/sec
*高速度 1200mm/sec 250°/sec 500mm/sec
分 辨 率 0.01mm 0.0015° 0.001mm
反覆精度 K0.1mm K0.01° K0.01mm
通訊 RS232
電源 三相 AC220V 15A 50/60Hz
乾燥氣壓 4kgf~6kgf 10L/min
真空來源 -50kPa~-80kPa 10L/min
可搬送重量 2kg以下
臂 旋转 上下
動作範圍 314mm 355° 310mm
平均速度 800mm/sec 200°/sec 350mm/sec
*高速度 1200mm/sec 250°/sec 500mm/sec
分 辨 率 0.01mm 0.0015° 0.001mm
反覆精度 K0.1mm K0.01° K0.01mm
通訊 RS232
電源 三相 AC220V 15A 50/60Hz
乾燥氣壓 4kgf~6kgf 10L/min
真空來源 -50kPa~-80kPa 10L/min
科威聯股份有限公司
联系人：謝淑惠 女士 (管理部課長)
电 话：886-3-5512887
传 真：
手 机：
地 址：中国台湾新竹市竹北市聯興三街136巷75號
邮 编：
网 址：http://kuwailian.qy6.com.cn(
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