供应深圳美信扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)检测
发布时间:2015年09月17日
详细说明
供应深圳美信扫描探针显微镜/原子力显微镜(AFM)检测
扫描探针显微镜,俗称原子力显微镜(AFM),提供原子或接近原子分辨率的表面图形,是测定埃尺度表面粗糙样本的理想技术。除显示表面图像, AFM还可以提供特征尺寸定量测量, 例如步进高度测量;其他样本特性,如为确定载体和掺杂剂的分布和测量电容。
AFM应用:
 三维表面结构图像,包含表面粗糙度、微粒尺寸、步进高度、倾斜度
 加工前后晶圆上(二氧化硅、砷化镓、锗化硅等)评估
 测定接触镜片、导管、支架和其他生物医药表面的加工效果(如等离子处理)
 测定表面粗糙度对粘合和其他工艺的影响
 测定有图案晶圆的沟壁形状/洁净度
 测定形态/结构是否为表面几何形状的来源
AFM应用优点:
 量化表面粗糙程度
 高空间辨析率
 导体和绝缘体样品的成像
AFM应用局限性:
 扫描范围限制:横坐标100微米,Z轴5微米
 样品的潜在问题是太粗糙、样品形状古怪
 针头可能引起的误差