公司名称：深圳市旺达康科技有限公司

电子级硼酸三甲酯TMB
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、
分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。