公司名称：深圳市旺达康科技有限公司

电子级亚磷酸三甲酯TMPI
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。