公司名称：辽阳方泰能源科技开发有限公司

方泰高纯度（99.999%）制氮机制氮常规系统工艺流程：
首先原料空气经压缩机压缩至出口压力0.8MPa，有效出口供气量为6Nm3/min,之后经过高效除油器（国内独创、三级过滤）除去大部分油、水、尘埃后，进入TCD冷冻式干燥机，使压缩空气的压力露点降至2℃左右，除去大量的水分，再经过精密过滤器和活性炭过滤器进一步除去水分、微油雾等有害杂质，经空气缓冲罐后进入二个填装吸附剂的变压吸附分离系统。
洁净的压缩空气由吸附塔底端进入，气流经空气扩散装置（万向螺旋或瓷球）扩散以后，均匀进入吸附塔，进行氧氮吸附分离，然后从出口端流出氮气，进入氮气缓冲罐，这一产氮过程约1分钟；之后经均压和减压（至常压），脱除所吸附的杂质组分（主要为氧气），完成吸附剂的再生。
二个吸附塔交替循环操作，连续送入原料空气，连续生产纯度≥99.999%的氮气，产量为50Nm3/h,氮气压力可达1.5～30MPa（可调），氮气常压露点为-40℃。