公司名称：深圳市韵腾激光科技有限公司

产品概述


•高产量：采用美国进口的 532nm DPSS激光工艺配合专用上下料的机械手装置，标记速度快、质量高；

•器件优质率：100％，可正面或反面高精度标刻；

•环保高效：在半导体制造过程中，实现了无尘的清洁打标。
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•加工质量高，无表面裂痕、标记字体美观大方、清晰度高；
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•可靠性高：激光器采用定制化设计，用户免调试、免维护；；
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•加工方式多样化：砷化镓、硅晶圆、蓝宝石或其它材料的芯片标刻，可加工各种尺寸晶圆；

1、XY轴定位精度±0.004 mm ；
2、打标精准可靠，字体一致性好；

3、打标清晰明了，边缘质量良好；

4、标记线宽最小15um，文字高度最小15um；

5、可实现硅晶圆、玻璃晶圆、蓝宝石、砷化镓等多种高分子材料标刻；



内容

精度范围

打标的定位精度

±3um

最小标刻文本线宽

15um

最小标刻文本的高度

15um

进行金属（铜合金）雕刻

YES