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供应LF400-F高耐压气体质量流量计

发布时间:12月11日

详细说明

  LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理,可以对不同的气体进行流量量测及控制。
  可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围,并且不会受到温度及压力变化的影响。
  产品系列完整,可选择数字式,模拟式,普通,高精度,高压力型,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
功能 流量计/控制器
基本型号  LF400-F
满量程流量范围(N2) SCCM 0~5,10,20,30,50,100,200,500
SLM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(%F.S) ±1(≤15SLM)
±1.5(>15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(%F.S.) ±0.5~1(≤15SLM)
±1.5%(>15SLM.)
重复精度(%F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5 DCV
流量设定信号 0-+5 DCV
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5~45
工作压差 (MPa) 0.1~0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
*大耐压 15MPa
介质接触材质 304,316,316L
密封材料 氟橡胶,硅橡胶,丁腈橡胶,聚四氟乙烯
接头尺寸 VCR   1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA

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