公司名称：昆山硅净净化股份有限公司

洁净室***洁净室设备管理
　　1.工艺设备的防污染管理
 生产工艺设备在生产过程中,或操作失误都会造成室内发尘量的增加;针对这些污染源产生的情况,需要制定相应的管理措施和必要的对策,因此严格执行工艺和设备的管理制度十分必要.
 2.空调系统装置是确保室内空气洁净度等级的主要设备,包括各类过滤器、洁净工作台、层流罩、风淋室、传递窗、空调装置等，它们的正常维护、定期检查是确保洁净室洁净度的重要条件。具体要求如下表所示：
      设备名称管理项目管理内容使用仪器检测要求
   (一)、.过滤器 1、洁净度 2、 风管 3、气流速度 4、室内外静压差洁净室定点监控
    扫描测试及密封 垫检漏粒子计数器 风速仪 压差计根据洁净室等级,按规定进行
      (二)、预过滤器、中间过滤器 1、 污染 2、 处理风量 3、 静压差洁净室定点监控 目视检查 标准测定法风速计 压差计定时、连续
     (三)、洁净工作台、洁净小室 1、 洁净度2、 风量3、 气流速度4、 振动5、 发热量6、 照度高效过滤器全面扫描测试检漏，每台检测5点目视触摸粒子计数器 风速计 压差计 照度计按生产工艺要求确定
   (四)、风机、泵电动机 1、 电压、电流 2、 皮带松弛程度 3、 电机转数 4、 噪声、发热
   (五)、 风机叶轮平衡度定点监控 目视目视 电压表 电流表 转速表 动平衡仪每日定时 动平衡3—6月
    (六)、控制仪表、控制阀等 1、 感应动作2、 记录仪动作3、 笔尖4、 记录纸 给定值变动试验 用标准值校正 用手动试验 传感器清扫特别 是温度传感器校正 轴部分要进行精检目测标准吊挂式温、湿度度计 电流计等有关 标准仪器动作每日定时，校正等按规定进行
          　洁净室的净化空气监测频数
       洁净度等级
      监测项目 100级 1,000级 10,000级 100,000级
     温度每班二次
     湿度每班二次
      压差值每周一次每月一次
      洁净度每周一次每三个月一次每六个月一次
　　1.工艺设备的防污染管理
　　生产工艺设备在生产过程中,或操作失误都会造成室内发尘量的增加;针对这些污染源产生的情况,需要制定相应的管理措施和必要的对策,因此严格执行工艺和设备的管理制度十分必要.
   2.空调系统装置是确保室内空气洁净度等级的主要设备,包括各类过滤器、洁净工作台、层流罩、风淋室、传递窗、空调装置等，它们的正常维护、定期检查是确保洁净室洁净度的重要条件。具体要求如下表所示：
         设备名称管理项目管理内容使用仪器检测要求
       (一)、.过滤器 1、洁净度 2、 风管 3、气流速度 4、室内外静压差洁净室定点监控
        扫描测试及密封 垫检漏粒子计数器 风速仪 压差计根据洁净室等级,按规定进行
       (二)、预过滤器、中间过滤器 1、 污染 2、 处理风量 3、 静压差洁净室定点监控 目视检查 标准测定法风速计 压差计定时、连续
      (三)、洁净工作台、洁净小室 1、 洁净度2、 风量3、 气流速度4、 振动5、 发热量6、 照度高效过滤器全面扫描测试检漏，每台检测5点目视触摸粒子计数器 风速计 压差计 照度计按生产工艺要求确定
     (四)、风机、泵电动机 1、 电压、电流 2、 皮带松弛程度 3、 电机转数 4、 噪声、发热
     (五)、 风机叶轮平衡度定点监控 目视目视 电压表 电流表 转速表 动平衡仪每日定时 动平衡3—6月
     (六)、控制仪表、控制阀等 1、 感应动作2、 记录仪动作3、 笔尖4、 记录纸 给定值变动试验 用标准值校正 用手动试验 传感器清扫特别 是温度传感器校正 轴部分要进行精检目测标准吊挂式温、湿度度计 电流计等有关 标准仪器动作每日定时，校正等按规定进行
   洁净室***洁净室设备管理

联系人：唐智   电话15150339935