公司名称：北京优仕锦科技发展有限公司

精密步进投影数字光刻机
无掩模光刻机

无掩膜光刻机 型号 DS-2000/1.0型
1．技术特征 采用DMD作为数字掩模，像素1024×768 
采用1倍缩小投影光刻物镜成像，一次曝光面积约14mm×10mm 
采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。 
采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，
可适应100mm×100mm基片。
2．技术参数 
光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）； 
照明均匀性：±2%； 物镜倍率：1倍 
曝光场面积：14mm×10mm 光刻分辨力：14μm 
工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm； 
工件台运动定位精度：±1.5μm； 
调焦台运动灵敏度：1μm； 
调焦台运动行程：6mm 转动台行程：±6°以上 
基片尺寸外径: Ф15mm—Ф100mm，
厚度：0.1mm--5mm 
3．外形尺寸：840mm（长）×450mm(宽) ×830mm（高）
无掩模光刻机系统关键技术
• 曝光光学系统
• 光匀化技术
• 图形发生器
• 投影物镜
• 对焦系统
• 对准系统
• 精密工件台
• 步进拼接
• 控制软件