公司名称：武汉三工激光设备制造有限公司

SET3/1064/532/355，SFT3：激光微调机/激光修阻机/激光调阻机/激光刻阻机　

激光调阻机的成功研制对推动我国微电子行业的产业升级起到重要作用。激光调阻机是利用激光技术对厚、薄膜电路进行修调，以得到高精度的电阻值或精准的输出信号。公司生产的激光调阻机全部拥有自主知识产权，采用高质量的激光源和精密的测量系统，空气悬浮平面运动机构，各项性能指标达到先进水平，是取代进口产品之首选。

激光调阻机技术参数：　

--激光器系统：　

激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器　

激光波长：1064/532/355nm　

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　

激光频率：200Hz-50KHz　

典型光斑尺寸：30μm　

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光*小光斑达12μm　

泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时　

冷却方式：风冷　

对焦方式：计算机程序控制　

--激光束定位系统：　

激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）　

点到点运动时间：5ms（典型）　

*大速度：7000mm/s　

重复定位精度：2.5μm　

激光束*小步进：0.76μm　

--图像监视系统：　

监视方式：激光同轴监视　

*大放大倍数：>100倍　

图像监视显示屏：19寸液晶　

--测量系统：　

激励方式：电流/电压激励　

恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择　

恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）　

电阻测量方式：四线制加电流测电压　

直流电压测量：10mV~10V（满程电压）　

调节对象发热控制：程序可设定　

电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     　

中阻：<0.05%　

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）　

电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ　

电阻测量速度：25μs　

直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）　

探针板：44针11组四线制（可选其它规格）　

探针板运动：计算机程序控制　

--计算机及软件系统：　

工业控制计算机（双核），17寸液晶　

操作系统：Windows XP　

VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大　

--分步重复运动系统：　

运动XY范围：290x260mm　

运动分辨率：1μm　

定位精度：小于6μm（带误差补偿）　

重复定位精度：小于3μm   　

*大运动速度：900mm/s　

具有温度补偿等功能　

--非接触温度测量：　

温度测量精度：0.2℃　

调阻温度修正：计算机程序控制　

--其它技术指标：　

供电电压：220V AC　

整机功耗：小于1000W　

应用和市场：
主要应用于厚、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路，电子元器件，汽车电器，传感器，军工科研，片式电阻行业等。

  

公司名称：武汉三工光电设备制造有限公司

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