
供应超纯气体净化器
发布时间:09月27日
详细说明
超纯气体净化器是以≥99.99%的高超惰性气体(N2、Ar、Nc、Hc、Xe)为原料,根据被提纯气体的不同,以高性能合金吸气剂为吸附剂,采用先进的净化技术,在一定温度下激活吸气剂,原料气通过吸气剂时,原料气中的不纯气体由吸气剂吸收,使原料气体净化至超纯气体,从而达到净化惰性气体的目的。
◆适用范围:大规格集成电路的研制与生产混合气、半导体工艺制备、稀有金属加工、特种灯制造以及激光器、溅射、气相色谱分析、超纯气体分析、研发、标准气体的配制、高纯单晶硅冶炼、拉制、晶片外延保护气体。
◆处理气体介质:氢气、氮气、氩气及其他惰性气体。
◆产品气流量:0.001-3000Nm3/h
◆产品气纯度:99.999-99.9999999%