公司名称：苏州华科晋半导体设备技术有限公司

化学操作台
本类设备广泛应用于集成电路芯片，采用RCA清洗工艺，小批量、手动、（石英）烧杯下的工作方式。本体采用半封闭式设计，透明PVC活动观察窗，使操作者能够清晰的看到操作的整个过程，并有效的隔离操作区有害气体对人体的伤害。整机性能可靠，操作方便。根据用户要求配置有氮气、DI水枪、恒温水浴槽、热台、超声清洗槽、循环过滤装置、DI水在线加热装置、 DI水电导率测试等
技术特点
※ 可根据用户工艺要求配置。  
※ 清洗槽*高加热温度可达200℃。 
※ 快速排放冲洗槽排放，冲洗次数可设置。
※ 槽体结构可选单片盒，或双片盒结构。 
※ 槽内传输有手动、自动方式可选。 
※ 可选配超声清洗，或兆声清洗功能。 
※ 可选配液体循环系统。 
※ 具有故障提示，报警等功能。