提供HN二氧化硅精密切割晶圆打孔盲孔定制
发布时间:04月19日
详细说明
HN二氧化硅精密切割晶圆打孔盲孔定制
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,它的直径通常在几寸到十几寸之间,厚度约为几毫米,孔更是达到微米,打孔需要非常高的精度要求,否则易损坏材料。目前较多人使用的打孔工艺设备有手电动钻孔、电火花打孔、蚀刻打孔、激光打孔,其优缺点也是非常的明显。
传统打孔设备使用钢针或者硬合金钻头进行打孔,需要将钻头放置在打孔位置并通过机械力来加工材料。这种方法比较慢,而且在切割硬质或特殊材料时容易出现问题,加上毛刺多,不精准,只能进行简单打孔。
蚀刻打孔是通过化学反应将材料表面进行腐蚀,以达到打孔的目的。可以在不破坏材料表面的情况下进行打孔,避免了材料变形或者损坏,也可形成复杂的形状,还在同时处理多个工件,但蚀刻加工环境污染大,对人身安全也有影响。
电火花打孔是通过在工件表面创建电弧,使其产生高温和高压,在物理层面上熔化工件并形成孔洞,这种方法适用于处理硬度非常高的材料。它可以在各种不同类型和形状的工件上进行打孔,如弯曲面、倾斜面等,但精度不高,容易加工出锥度。
激光打孔是将激光束聚焦在工作件表面上,通过熔融气化蒸来形成孔槽、孔洞。这种打孔过程是全程自动的,机械控制下更加稳定,不会出现误差、毛刺、变形等情况,精度超高,可快速加工出小至纳米的孔径,且可在不规则平面上加工出任意孔型。但它的设备价格稍高一些。
总的来说,传统打孔设备适合无精度要求孔加工,蚀刻打孔适用于多工件的复杂形状的加工,但速度较慢。电火花打孔适用于硬度较高的材料,而激光打孔则适用于大多数材料,加上全程自动,且聚集了其他打孔设备的优点,轻易做到快准稳,更加提高经济效益。
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