公司名称：广东华特气体股份有限公司

准分子激光气体











准分子激光气体在准分子激光器全球的医疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高端行业得到广泛的应用，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。



准分子激光气体的主要成分：



氟化氩（ArF) 193 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF) 248 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne



显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害最主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。



除了稀有气体之外，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。



氟气，化学式F2，是一种淡黄色、极具腐蚀性的双原子分子气体，密度（标准状态下）：1.554kg/m3 比空气大。有特殊气味，吸入感觉干燥。











准分子激光气体





广东华特气体股份有限公司（原名：佛山市华特气体有限公司）位于珠三角腹地佛山市南海区，创建于1999年，公司以广东佛山为产品研发基地，分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司

公司从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种，并不断研发新产品满足市场需求。生产低温绝热气瓶、汽化器、LNG应急撬等气体设备，安装超高纯气体及工业气体应用配套设备等。为用户提供气体应用一体化解决方案。





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