公司名称：青岛福润德微电子设备有限公司

扩散炉全自动控制系统是新一代扩散炉全自动系统，可实现温度、推拉舟、MFC电磁阀等的全自动控制。无障碍工作时间大于8千小时。其控制精度及质量完全取代进口的同类产品。该系统操作方便、控制精确、稳定可靠、价格合理，特别适合国人的操作习惯。
产品特点：
◆采用高强度的CPU处理器控温CPU43P和CJI系列PLC，运行可靠控制精度高，具有自动分布功能
◆采用进口PLC进行上下传递参数，传递速度快，运行稳定
◆ 显示部分采用工业控制机，操作方便，可靠，显示各参数直观，方便查看实时数据曲线和历史曲线
◆ 所有软件具备自动测温区功能，具有事件记录，超温报警，气体偏差报警，断偶报警，过热报警等功能
◆ 在1280℃单点稳定性±0.5℃
主要技术指标：
◆ 工作温度：600—1290℃
◆ 恒温区长度：1000mm
◆ 炉管口径：可供4”、5”、6”片
◆ 气路系统：三路主管道HLC、O2、N2，质量流量计控 制，所有管道配置全部采用进口VCR接头
◆工作台：采用层流水平净化，净化等级：100级，
◆ 台面全部采用不锈钢