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碳/碳材料CVD/CVI沉积炉设备简介：该设备主要用于碳/碳材料CVD/CVI涂层工艺，也适用于碳/碳化硅复合材料的化学气相沉积。
碳/碳材料CVD/CVI沉积炉设备组成：设备主要由炉体系统、电源系统、真空系统、过滤系统（尾气处理系统）、供气系统、加热保温系统、水冷系统等部分组成。能针对不同的副产品进行喷淋、冷凝捕集、尾气燃烧等处理，如高腐蚀性尾气（HCI等）、易燃性尾气（COH2）、固体粉尘尾气（碳粉等）、低熔点粘性产物（沥青、树脂等）等。

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