公司名称：东莞市昱和仪器设备有限公司

激光扫描共焦显微镜OLS300可进行如下检测:
1）测量
2D测量：*佳测量范围1.5mm～1μm；不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量：*佳测量范围1mm～0.5μm；体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。
粗糙度分析：*适合于Rz0.1μm程度的粗糙度分析；不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。
2）3D形貌
能获得3D色彩等多种多样的信息 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。
3）高分辨率观察
显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12μm的LINE和SPACE 利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
*大观察范围是2，560X2，560μm