公司名称：上海锡霖国际贸易有限公司

我们可按照客户所需成分、形状，提供适用于溅射工艺的材料，涵盖金属、合金与陶瓷。品类齐全，从氧化物陶瓷、碳化物到纯金属、贵金属、稀土、多元合金靶材均可供应；支持圆形、矩形，厚度与平整度控制优异。广泛用于半导体等真空溅射镀膜场景，支持尺寸定制开发。除下述标准品类外，还可接受定制。


一、精细陶瓷靶材
Al2O3、MgO、SiO2、TiO2、ZnO、La2O3、Ta2O5 、
氧化物 Nb2O5、 Mn3O4、SrRuO3、ITO（In2O3-SnO2）、
PZT（PbZrTiOx）、STO（SrTiO3）、LiCoO2、
Li4Ti5O12、Li3PO4、其他氧化物

碳化物 SiC、B4C、WC、TaC、TiC

其他化合物 氮化物、氟化物、磷化物、硫化物、硒化物



二、金属靶材
Al、Bi、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、
通用金属 In、Mg、Mn、 Mo、Pb、Sb、Sc、Si 、
Sn、Ta、Ti 、V、W、Y、Zn、Zr

单金属 贵金属 Ag、Au、Ir、Pd、Pt、Rh、Ru

稀土金属 Ce、Dy、Er、Eu、Gd、Ho、La、Lu、Nd、Pr、
Sm、Tb、Tm、Yb

合金 Co-Fe-B、Fe-Co、Ni-Cr、Mn-Ga等。
*此外，根据需求，我们也有4元系到9元系的经验。



三、标准规格
标准尺寸
直径(*1) 厚度 变形(*2)
矩形 90～1000mm T0.5～约T16mm ≤±0.2mm
圆形 Φ25.4～φ 300mm T0.5～约T16mm ≤±0.2m