公司名称：青岛福润德微电子设备有限公司

从结构上分为卧式、立式、箱式，从真空度上分为低真空、高真空，从使用
温度上分为低温、高温，从真空室材料上分为石英管、耐热不锈钢管，从真空获
得上分机械泵、机械泵+扩散泵、机械泵+分子泵。
■设备用途:
广泛用于电力电子器件、玻封二级管、气体放电管、磁性材料、热敏电阻等器件
的真空烧结、封装、焊接、合金、退火等工艺。
■主要技术指标:
★工位:
单、双、三工位
★工作温度:300~1100℃(不锈钢真空室*高1000℃)
★真空度:优于5x10-3 PA
★真空室直径:中150~300 MM
★恒温区长度:400~1000 MM
★控制精度:±1.0~3.0℃
★炉体移动速度:0~400MM/MIN
★*大充气压力:0.5MPA(不锈钢真空室)
★加热功率:10~80 KVA
★控制系统:进口仪表+PLC+触摸屏
★安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警