公司名称：成都奋羽电子科技有限公司
远程微波等离子源RPS 发布时间：2024年08月15日
详细说明
 奋羽电子完全 自由知识产权产品
 可根据客户需求提供定制化服务：功率、处理面积、腔体设计等
 固态微波源和磁控管微波源两种版本可选
项目 固态源版本 磁控管版本
输出功率 3kW 3kW
输出频率 2450MHz±25MHz 2450MHz±25MHz
频率误差 ±50ppm 2%-3%
微波泄露 ≤2mW/cm2 ≤2mW/cm2
供电电压 AC380V±10% AC380V±10%
供电频率 50Hz±2Hz 50Hz±2Hz
进/出水口 1/8宝塔接头 DN15
冷却方式 水冷 水冷
控制接口 RS485通信协议 具备本地触摸屏控制及远程通讯功能
工艺气体 Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料） Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料）
 可根据客户需求提供定制化服务：功率、处理面积、腔体设计等
 固态微波源和磁控管微波源两种版本可选
项目 固态源版本 磁控管版本
输出功率 3kW 3kW
输出频率 2450MHz±25MHz 2450MHz±25MHz
频率误差 ±50ppm 2%-3%
微波泄露 ≤2mW/cm2 ≤2mW/cm2
供电电压 AC380V±10% AC380V±10%
供电频率 50Hz±2Hz 50Hz±2Hz
进/出水口 1/8宝塔接头 DN15
冷却方式 水冷 水冷
控制接口 RS485通信协议 具备本地触摸屏控制及远程通讯功能
工艺气体 Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料） Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料）
成都奋羽电子科技有限公司
联系人：李 女士 (市场总监)
电 话：028-62093780
传 真：
手 机：18782291835
地 址：中国四川成都市天勤路277号
邮 编：
网 址：http://freee2020.qy6.com.cn(
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