管式退火炉-真空退火炉
发布时间:2024年10月22日
详细说明
退火炉
主要技术参数
◆工艺管数量:可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型或立式
◆工作温度范围:400~1280℃
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
噪音:≤62dB(A)
震动:≤3μm
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
退火炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,其关键部件全部采用进口部件,仿国外热处理制造技术,已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商,可根据客户不同需求定制,厂家直接供货。
我公司可根据客户需求个性化定制实验室科研退火炉、管式退火炉,管式真空退火炉、管式扩散炉、管式烧结炉、管式合金炉等高温电炉,厂家直接供货,欢迎广大用户来电咨询。