详细说明
本实用***提供了一种UV解胶机,包括机架,机架内设有封闭的工作空间,机架上设有UV光源和能够开合工作空间的遮光罩,UV光源位于工作空间内,还包括控制装置,机架内设有上下料位置和解胶位置,上下料位置邻近遮光罩,解胶位置位于UV光源的光照区域,机架内设有用于放置晶圆的托盘及用于在上下料位置与解胶位置之间传送托盘的驱动装置,UV光源和驱动装置分别与控制装置电性连接机架上设有遮光罩;通过控制装置与驱动装置的电性连接,使得驱动装置***的将晶圆移动到上下料位置或解胶位置,使得解胶充分.通过遮光罩的设置,将机架内工作空间中的紫外光阻挡在工作空间内,不会照射到机架外,***阻止了紫外光对人体的伤害,不会造成安全隐患