公司名称：上海进畅进出口有限公司

二手旧等离子刻蚀机进口清关报检报关行

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等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中1常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体（RIE），顺流等离子体（downstream），直接等离子体（direction plasma）。

主要企业（品牌）：

国际：英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美国Pelco公司。

国内：北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、中国电子科技集团第四十八所、戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司、中国科学院微电子研究所、北方微电子、北京东方中科集成科技股份有限公司、北京创世威纳科技。

二手旧等离子刻蚀机进口提供的具体材料：

申请资料包括：

1）进口旧半导体产品备案申请书

2）申请人、收货人、发货人营业执照（复印件）

3）装运前预检验申请书

4）拟进口旧半导体产品清单（按标准格式填写，一式两份，要求以电脑打制。）

5）进口上海半导体设备描述（按网上标准格式填写）

6）其它材料（8年前制造的旧半导体晶圆产品原则上均需提供产品彩色图片/照片；制造年限久的半导体晶圆如在发运前已经维修整理，申请人可提供相关记录与证明；进口的二手大型成套半导体晶圆需提供半导体晶圆配置图、工艺流程图等资料。）

7）进口用于销售、租赁或者维修等用途且国家实施强制性产品认证制度、进口质量许可管理以及有其他规定要求的旧半导体晶圆产品的，备案申请人申请备案时必须提供相应的证明文件（复印件）

8）合同或协议

9）进口旧半导体晶圆产品拟备案工作联系单（需办理半导体晶圆证时提供）

进口二手旧等离 子刻蚀机CCIC装运前预检验工作事项：
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