真空式等离子处理系统CRF-VPO-MC-6L
发布时间:2018年08月14日
详细说明
名称(Name)真空式等离子处理系统
型号(Model)CRF-VPO-MC-6L
控制系统(Control system)PLC+触摸屏
电源(Power supply)380V/AC,50/60Hz,12.5kw
中频电源功率(MF Power)2000W/40kHz
容量(Volume)235L(Option)
层数(Electrode of plies)6(Option)
有效处理面积(Area)500(L)*500(W)(Option)
气体通道(Gas)两路工作气体可选: Ar、N2、CF4、O2
超大处理空间,提升处理产能,采用PLC+触摸屏控制系统,精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数,满足客户的需求。
保养维修成本低,便于客户成本控制。
高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。
主要适用于生物医疗行业,印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。