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发布时间:04月25日

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附录】】工艺参数研究 
2.5.1 温度对镀层的影响 采用100mm长的赫尔槽试片,250mL镀液,5A电流施镀3min,测定不同温度下所得镀层的厚度和镀液的覆盖能力(以从阴极近端至阴极远端镀层覆盖试片的长度来表示),分别列于表2和表3。数据表明,随着温度的升高,镀层厚度增加,但镀液的覆盖能力变差。实验还发现,Trich-9551镀液在55°C以上操作时,稳定性不够好。因此,Trich-9551工艺将镀液温度控制在48~55°C。 

2.5.2 电流对覆盖能力的影响 镀赫尔槽试片,250mL镀液,采用2~6A电流施镀3min,测定不同电流条件下所得镀层对试片的覆盖情况,所得数值列于表4。实验表明,电流明显影响镀液的覆盖能力,随着电流的提高,覆盖能力增大。Trich-9551工艺规定电流密度范围为8~15A/dm2,一般控制在10A/dm2较合适。

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