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硅基油不易发生这种氧化，是扩散泵所必需的，对于干泵，油不会与泵送的气体混合，因此燃烧和氧化不是问题，但油用于润滑轴承和齿轮，因此必须定期更换，大多数制造商建议至少每3，000小时更换一次机油，然而，对于要求更高的应用。
大阪真空泵维修漏油维修经典案例
真空泵卡死故障维修方法
1、检查弹簧：弹簧损坏会使旋片受力不均匀，导致真空泵卡死。因此，需要检查弹簧的状态，如有损坏应更换新的弹簧。
2、检查设备装配：设备装配不当会使某局部受力，导致设备卡死。此时应重新装配设备，确保所有部件安装到位且配合良好。
3、检查过滤网：若过滤网损坏，会导致金属屑、颗粒等落入泵腔内，导致机械卡死。应将泵拆开检查、清洗干净，并更换损坏的过滤网。
4、调整端面间隙：端面间隙过小会使泵温升高，若泵温过高则会出现卡死现象。此时应修磨转子旋片，调整间隙至适当范围。
5、更换泵油：泵油变质或结垢、油黏度不恰当易导致泵出现卡死问题。此时应更换新的泵油，并确保油质干净、无杂质。
6、检查轴和轴套：轴和轴套配合过紧、缺油润滑也易导致泵出现卡死问题。此时应加强油路润滑，或更换合适的轴和轴套。
由于目标信号由仪表电流“环路”电路中的电流表示，因此用于故障排除的明显工具是能够测量直流毫安的万用表。然而，不幸的是，使用毫安表有一个主要缺点：电路必须在某个点“断开”才能将电表与电流串联，这意味着电流将下降到0mA，直到电表连接（然后当电表从电路中移除时降至0mA）。中断电流意味着中断该电流传达的信息流，无论是过程测量还是终控制元件的命令信号。除非采取某些准备步骤，否则这将对控制系统产生不利影响。在“中断环路”连接仪表之前，必须首先警告所有适当的人员，信号将至少中断两次，每次降至（-25）%的值。如果要中断的信号从过程变送器发送到控制器，则应将控制器置于手动模式，以免在过程中引起干扰（通过移动终控制元件以响应PV信号的突然丢失）。
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