![](http://img.qy6.com.cn/new22/15515545802/1650941310.jpg)
郑科探KT-Z1650PVD 小型离子溅射仪磁控溅射镀膜仪器
发布时间:2023年02月15日
详细说明
该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
离子溅射仪在扫描电镜中应用十分广泛,通过向样品表面喷镀金、铂、钯及混合靶材等金属消除不导电样品的荷电现象,并提高观测效率,另外可以使用喷碳附件对样品进行蒸碳,实现不导电样品的能谱仪元素定性和半定量分析。
磁控溅射优点
(1)沉积速率快,沉积效率高,适合工业生产大规模应用;
(2)基片温度低,适合塑料等不耐高温的基材镀膜;
(3)制备的薄膜纯度高、致密性好、薄膜均匀性好、膜基结合力强;
(4)可制备金属、合金、氧化物等薄膜;
样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。