公司名称：苏州高控科技有限公司

ABL9000气浮平台
1世上*高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
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