晶圆烘箱
发布时间:2024年06月06日
详细说明
型号
HOC-1 800W-OF (单腔体)
规格尺寸
内尺寸
800*640*960(W*D*H)mm
外尺寸
1460*970*1800(W*D*H)mm
温度范围
RT~250℃
均匀性
±2℃ Noloading
加热功率
Electric Kantal 15 KW
温度控制器
1. Micro Processor P.I.D Digtal Control
Program 30 paten ×99 Segment
Model:Program controller UP55A (YOKOKAWA) RS-485,232
2. PLC触屏程序控制器
热电偶
TC-K型
循环风机
Sircocco Fan 180mm
报警装置
超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等
电机
220V/380V-50/60HZ-3P-180W
附件
流量计(L/MIN 200×2)
隔板
3层
安装要求
电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P
水 2-5kg/c㎡
压缩空气 1-5kg/c㎡
氮气 1-5kg/c㎡