公司名称：东莞市霖晨纳米科技有限公司

在襯底上沉積PLUS-DLC類金剛石膜之工藝簡表

Classic procedure parameter of the RF PECVD

工步Work step

工步名稱Work step name

工步條件Work step conditions


預抽真空Pre vacuum

P~2Pa

NO.2

等離子體清洗Plasma cleaning

Ar、U=1500V、P~4Pa

NO.3

充入反應氣體Filling response gas

Ar/C4H10

NO.4

晶粒生成Grain formation

Ar/C4H10



U-2000、2800V

NO.5

DLC膜層DLC coating

Ar/C4H10



U=1000V
XR-DLC涂层刀具，以减少您的刀具成本。
涂层注意事项
可涂层材料：
各类模具钢材、工具钢、高速钢、不锈钢；硬质合金（钨钢）；钛合金、镍合金；铍铜。
涂层部位：
待涂层的工件需要有可以装夹的部位，不太可能实现全部涂覆。如果有特殊部位不能涂层，需要提前告知，建议您在工件上明确标识出以下部位：必须涂层的功能部位；不能涂层的部位；可涂可不涂的部位。
涂层工件表面要求：
工件表面不能有其他的表面改性处理，如：电镀、磷化、氧化发黑、TD、QPQ处理等；工件表面不能有锈蚀、腐蚀、油漆、胶水等；工件表面粗糙度要求：一般的刀具在满足使用需求的前提下越光亮越好，成型面Ra<0.2μm为宜，对于镜面、蚀纹的塑胶模具则完全以产品需求为准；组合模具或镶嵌工具，能够拆开的必须全部拆开；焊接工件表面需要彻底清洁，不能有氧化层或埋孔。
包装与运输：
所有的工件在发送给我司涂层前需要对工件喷涂轻质防锈油进行防锈处理，以免工件在寄送的过程中生锈；工件必须用泡棉包好，避免在寄送过程中损坏。
客户需提供如下资料：
工件材料及牌号;回火温度及硬度；标识（或说明）涂层的功能面（即涂层的重点面）；尺寸精度有要求的需要说明具体的尺寸精度和预留尺寸；使用场合、被加工材料、加工参数等主要参数，以便于我司选用最合适的涂层。

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