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石墨烯薄膜连续沉积炉
发布时间:2020年03月02日
详细说明
设备介绍:
该设备为咸阳鸿峰窑炉设备有限公司自主设计的化学气相沉积炉。
设备特点:
(1)该设备可以实现单片沉积也可以实现连续沉积。
(2)该设备可以对通入的气体进行精确的控制,配有混气罐。
(3)该设备炉衬全部采用轻质耐火材料,采用真空浇筑技术,设备热效率高。
(4)该设备的使用温度一般不高于1150度。
(5)该设备炉管采用高纯度定制石英管。
(6)该设备真空度可以抽至10E-4pa。
(7)该设备采用220V/380V的电压。
(8)该设备电热元件镶嵌在轻质耐火材料内部,结构合理。
(9)该设备为多点测温。
(10)该设备作多种尺寸规模的沉积。