公司名称：深圳市沃霖电子有限公司

氦气（真空模式）*低可检漏率 mbar&#8226;L/s <5E-12
氦气（吸枪模式）*低可检漏率 mbar&#8226;L/s 5E-8
GROSS 模式*大进气口压力 mbar 15
FINE 模式*大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式*大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m3/h 16 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力 L/s max.8
FINE 模式氦气抽气能力 L/s 7
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准测试漏孔 mbar&#8226;L/s E-7
测试端口
可调触发器 2
接口 RS232
图形记录器输出 V 2x10
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度（操作过程中） °C +10.....+40
保护类型 IP 20
重量 kg 110
尺寸（长 x 宽 x 高） mm 1068x525x850
电源电压 V(ac) 230(+-10%)50Hz
功耗 VA 1100